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電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)、顕微レーザーラマン分光装置などが設置されています。EPMAでは、電子線が試料表面に照射した際に発生する特性X線を測定することで、極小領域(数μm)における元素組成などを調べることができます。顕微レーザーラマン分光装置では、試料にレーザー光を照射すると波長の弱い光が散乱され、この光の波長が試料の分子構造を反映することを利用して、微少領域の分子構造の決定や鉱物の同定を行うことができます。
