蛍光X線分析装置では、試料にX線を照射した際に発生する特性X線のエネルギーを測定することによって、試料を構成する元素の種類および濃度を決定することができます。

粉末X線回折装置では、粉末状の試料にX線を照射した際にある特定の入射角度で強い散乱が観測される現象を利用して、試料に含まれる鉱物の原子構造を調べることができます。

電界放出形走査電子顕微鏡では、固体試料表面に電子ビームを走査し、試料表面からの反射電子や二次電子を検出することによって、光学顕微鏡では観察不可能な微小な表面構造を鮮明に観察することができます。また、この顕微鏡には EDS (エネルギー分散型X線分光) および EBSD (後方散乱電子回折) 検出器が搭載されており、顕微鏡視野の化学成分の分布や組成の決定、多結晶性試料の結晶方位の分布像を得ることもできます。